1976步步生莲第366章 突破封锁的武器

曲卓看了对方的证件拜托徐组长把一脸担心的乔小雨和小丫头送回去。

然后跟着不苟言笑的家伙上了站外的一辆BJ212。

司机看着眼熟好像是四机部小车班的不过没打过交道。

上车后曲卓冲对方点头打招呼司机拘谨的回应后瞄了眼副驾驶不苟言笑的家伙默不作声的发动引擎。

曲卓愈发紧张了为了掩饰内心的不安做出一副困倦的模样窝在后座闭眼休息。

心里琢磨着欺上瞒下的事干的有点多不会是哪儿露出什么马脚了吧？ 虽然心里没底但不算慌。

曲卓自问给内陆带来的好处是实实在在的。

就算被发现了什么纰漏也绝对算不上罪过。

比较麻烦的是一些问题不好解释甚至是压根就没法解释。

闭着眼把能想到的可能都琢磨了一遍实在摸不着头脑索性破罐子破摔放空大脑小眯了一觉。

恍惚间感觉车减速了。

睁开眼一看不是对方证件上的部门也不是某个神秘的地方。

周围的景象怎么有点眼熟呢？ 居然到了878厂！ 212进了878的大门绕过主楼停在厂区西北角的一栋红砖小楼外。

曲卓开门下车时姜秘书从小楼里出来。

乐呵的说：“原本首长的行程安排在昨天。

得知你今天回来特意做了调整。

” “什么事呀？”曲卓问。

“啊？”姜秘书纳闷了一下意外的问：“你不知道？” “我知道什么呀？”曲卓示意留在212里的不苟言笑：“我刚下火车那货就让我跟他走。

什么都没说。

” “嗨~”姜秘书顺着曲卓的视线看了一眼有些哭笑不得的解释：“刚从部队上下来还不太适应新的工作环境。

” “……”曲卓一阵无语。

问了一嘴才知道不苟言笑的家伙姓罗是安全部门新派到四机部的驻点安全员。

虽然平时在四机部上班但证件上的单位还是所属部门。

明天有一场级别挺高的会各地的与会人员今天陆续抵京火车站安全检查比平时严格了不少。

之前估算时间Z36快到了黎部长考虑到小罗同志的证件进出站比较方便就派他去接曲卓。

结果那货全程耷拉着死人脸害得某人白紧张了一通…… 红专楼从外面看着是栋两层小楼实际上里面只有一层。

穿过一间很小的风净室随后一间更小的更衣室里换上防静电鞋姜秘书带着曲卓进到一条带三面大观察窗的廊道。

廊道里站了十多个人有黎部长和四机部几位领导半导体研究所的黄所长和大王先生还有878的徐厂长和张总工。

剩下的几位也都是熟脸有清华精密仪器系的、光电所的还有45所的人。

见曲卓进来黎部长笑着说道：“嗯~我们的大功臣回来了。

” “嘿~”曲卓憨笑连鞠躬带行礼的挨个问好抽空瞄了眼观察窗里面……一台占地大约十五个平方卧式分体布局的设备。

设备是全包裹设计但通过有典型特征的操作台曲卓分辨出应该是一台不应该说是一套光刻机。

不用猜肯定是用Micralign100的核心部件装配出来的。

事实上这台被暂时命名为77-1的投影式光刻机七月初就试车成功了。

经过半个多月的测试三微米工艺良品率百分之十七点二六微米工艺良品率百分之五十七点六十微米良品率达到惊人的百分之八十七点八。

虽然不足百分之九十的良品率在后世看来并不算高但就眼下来说已经可以跻身国际先进水平了。

“厉害呀~”曲卓听完张总工兴致勃勃的讲解发出了由衷的感慨。

事实再次证明起码现阶段我们的设计能力是绝对没有问题的。

设计组并没有复刻曲卓提供的图纸而是对Micralign100的核心组件稍加修改和调整重新设计了光刻机的整体结构。

从原本的柜式一体设计变成了现在的卧式分体布局。

从结果上看加工效率比原本设计要略低一些功耗也略大了一些。

但良品率明显提高耗材损耗也有所下降。

综合性能绝对超越了Micralign100。

而且关键点不在于性能上超越了Micralign100多少而在于有这台设备在手我们就有了突破封锁的“武器”。

上面的计划是下个月对外公布这款达到世界一流水平的“自研”光刻机。

等十月份同型号第二台设备在沪市五厂投入使用。

十二月底至明年一月第三台设备在871厂投入使用。

如此一来外界就能得出判断我们大约三到四个月就能加工出一套光刻机使用的核心部件。

这说明什么？ 说明我们已经掌握了相关的一系列精密加工以及配套的光源、数控等关键技术。

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