1976步步生莲第512章 吃点小亏也没关系

曲卓入行时正是步进式投影光刻机发展的顶峰时期。

即便后来浸润式光刻机出来了国内在很长时间里依旧以干式机为主。

那段时间里国内就是个破烂王国佳能的EX3L和5L、尼康的NSR-1010GASML的FPA2500SVGL的Micrascan I甚至GCA在78年推出的当时来说已经老掉牙的第一代Stepper都能见到。

接触的多了曲卓对关联的技术、结构和工艺什么的了解的很详细。

剔除掉其他工艺和流程只说光刻机本身作为光源的氟化氪和氟化氩准分子激光……暂时就甭惦记离得稍微有点远。

眼下国内虽然可以自产高压汞灯但稳定性和寿命远不达标。

450nm以上的稳定光源曲卓有“收录”。

但只能“买”出成品没有生产工艺和设备对应的光刻胶也一样。

至于I线和G线好像是80年后汉斯先搞出来的。

镜头模组……已经收录到了紫外高透玻璃抛光、镀膜、校准对于脑子里的“系统”来说完全没有任何难度。

关键还是老问题拿不出专用的高精度铣床。

别说铣床了小磨头都不知道去哪“收录”。

至于进一步提升精度的磁流变抛光、离子束抛光那些……唉~约等于让驾校教练的去教潜水全是知识盲区太难为人了。

所以依旧只能想招给内陆提供成品却没办法完善产业链上的缺失。

尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意问题是……想个什么招儿呢？ 对于一台光刻机来说技术难度最高的就是光学及相关部分。

其它的……虽然“素材”还欠缺很多但只搞出个唬人的大框基本谈不上多大的难度。

只要让英国佬以为我们在技术层面甚至是实验室层面的完成度已经足够高了。

除了欠缺几项关键技术和工艺主要缺乏的不过是工业化和体系化生产的能力就行。

再加上领先的集成电路设计能力和通用型系统砝码绝对够重。

综合起来看曲卓要实现上面的意图……不难却不能轻易的答应。

可开出什么样的条件他还真没想好。

小来小去没意思。

要狠了就算眼下上面没招捏着鼻子答应了过后保不齐就会想招找后账。

甭以为位子高的人就一定大气。

不过是更加懂得取舍和权衡罢了。

而曲卓的策略是本职工作毫无二话保质保量完成的同时还会交出超出预期的答卷。

但工作范围之外的事就得掂量掂量拿捏拿捏了。

不掂量不拿捏就得让人逮着了往死里攥…… 梅宣宁气呼呼的走了曲卓乐呵呵的相送。

他知道梅老二回去后肯定会把问题扔回给安全部门让那帮人自己看着办。

这也是曲卓半步不退的原因。

毕竟今天谈的内容跟曲卓是不相干的跟梅宣宁也是不相干的。

如果是梅宣宁的事态度自然就不一样了。

能办的话制造点难度就给办了。

因为这位是真大腿做人也比较讲究多卖点人情没坏处。

一旦后面哪天出了什么纰漏能顶大用呢。

前提是得让梅老二知道欠下人情份量有多重。

安全部门甩出来的这档烂事儿就是个很好的可以用作称量和比对的参照物…… 只要有事忙时间过得就飞快。

曲卓以记忆中GCA的Stepper为基础参考佳能的EX3L和尼康的NSR-1010G在稳定性和经济性方面的部分技术搞了台步进式光刻机的设计出来。

不知道多少次的修改和微调后最终定稿。

随后将加工流程拉展由柜式立体布局变成线式布局。

这样设计有很大的缺陷增加物料成本和调试难度都是小事。

关键在于拉展后通过自动轨道进行重复对准和曝光以及清洗和固化的线程被拉长了。

必然会增加误差和被污染的几率结果就是降低良品率。

但是没办法柜式立体设计缺太多“素材”了。

以至于只能停留于“蓝图”状态。

改成线式布局后可以拆分后把能买的先“买”出来。

“买”不出来的回头给设计。

这也是实验室做技术论证的正常状态。

还能让英国佬直观的看到我们“已经拥有”技术实力以及欠缺的需要他们补足的地方。

当然了肯定不能老实巴交的直接把“家底”全抖搂光。

至于具体怎么谈自然有人去谋划和执行。

关于“谈判”这件事咱家的手段一直是高明的。

尤其是国家队出手只要给他们足够的“弹药”吃亏的可能性很小。

即便吃点小亏能搞定部分我们急需的配套产业设备和技术也行。

毕竟步进式光刻机从G线到ArF历经了小二十年呢中间进行过多次技术迭代。

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